台灣創浦總經理鄭勇志（下左起）、機械公會理事長柯拔希、工研院協理吳誠文簽訂3方備忘錄，經濟部長王美花（上右起）、德國經濟辦事處長林百科見證。（photo by 祝潤霖／台灣醒報）
【台灣醒報記者祝潤霖台北報導】「半導體可結合EUV極紫外光革命製程，以先進雷射技術提升國內機械產業！」工研院2日與德國創浦集團（TRUMPF）攜手打造雷射應用服務中心，與台灣機械工業同業公會3方合作簽備忘錄，見證人經濟部長王美花說，德國高階雷射源將為台灣半導體關鍵技術升級戰力。
高階雷射源助益大
「創浦是艾司摩爾（ASML）EUV設備雷射源的供應夥伴，在雷射源及工具機的產值都是全球前3，台灣獲得了重要盟友！」王美花強調，創浦帶來先進技術，機械公會引進客戶，工研院則有系統整合的能力，三方合作將帶起整體產業技術服務能量，強化台南雷射聚落發展，為台灣雷射設備產業帶來新契機。
王美花指出，在半導體後段封裝製程中，如何盡可能不損壞晶粒，完成晶圓切割，雷射源的好壞將直接影響加工品質。但是高階雷射元設備成本很高，廠商財務負擔大，測試開發需要國外原廠配合，往往因為來往過程繁雜而錯失商機，現在服務中心可讓有需要導入高階雷射元的業者打樣測試，降低門檻。
台灣半導體再升級
「台灣機械業1~7月出口144.8億美元，較去年同期減少10%；可喜的是檢量測設備成長5.1%、電子設備成長2.5%。」機械公會理事長柯拔希指出，雷射技術可應用於量測、檢測、切割、焊接及各式細微加工應用，對先進加工生產及智能工廠都很重要，期許三方合作能減少各公司重複投資研發，推動我國產業升級。
台灣創浦總經理鄭勇志表示，創浦除與ASML合作開發EUV光刻機外，自行研發製造的超快飛秒fs／皮秒ps先進雷射元技術更是在微加工領域獲得國際電子大廠採用，是當前「半導體奈米製程」競賽中不可或缺的設備。創浦在南科與合作夥伴成立技術培訓中心，期盼透過台德技術合作強化台灣的國際商機及競爭力。
